一种基于数字微镜LDI的装置及倾斜扫描方法
基本信息
| 申请号 | CN201910319941.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110045582B | 公开（公告）日 | 2020-12-18 |
| 申请公布号 | CN110045582B | 申请公布日 | 2020-12-18 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 蔡文涛;邱田生;陈振才 | 申请（专利权）人 | 东莞市多普光电设备有限公司 |
| 代理机构 | 广州科粤专利商标代理有限公司 | 代理人 | 东莞市多普光电设备有限公司 |
| 地址 | 523856 广东省东莞市长安镇涌头社区新荣街10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于数字微镜LDI的装置及倾斜扫描方法，通过两组成像镜头和倾斜掩模完成倾斜扫描。本发明包含有DMD数字微镜，DMD数字微镜与第一组成像镜头之间设有全内反射TIR棱镜，第一组成像镜头远离DMD数字微镜的一端设有倾斜掩模，倾斜掩模远离第一组成像镜头的一端设有第二组成像镜头，第二组成像镜头远离倾斜掩模的一端设有目标面。本发明实现倾斜扫描功能，简化了曝光图形栅格化时数据处理难度，同时补偿在显影工艺上造成的精度误差。本发明使得每一行像素产生一定的移位，最终在目标面上呈现有如平行四边形的排布，简化了曝光图形栅格化时数据处理难度。 |
