首页/ 东莞市多普光电设备有限公司/ 专利详情

一种全自动影像检查双台面曝光机

基本信息

申请号 CN202010249384.6 申请日 -
公开（公告）号 CN111399344A 公开（公告）日 2020-07-10
申请公布号 CN111399344A 申请公布日 2020-07-10
分类号 G03F7/20(2006.01)I 分类 -
发明人 邱田生;李诚;陈振才;柯华廉;詹泽军 申请（专利权）人 东莞市多普光电设备有限公司
代理机构 广州科粤专利商标代理有限公司 代理人 东莞市多普光电设备有限公司
地址 523856广东省东莞市长安镇涌头社区新荣街10号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种全自动影像检查双台面曝光机，涉及自动化设备领域。本发明包含入料工位、第一传送工位、第二传送工位、出料工位，入料工位、第一传送工位、第二传送工位、出料工位上方设有的出入移载机构，第一传送工位、第二传送工位的同一侧分别设有第一曝光工位、第二曝光工位，第一传送工位与第一曝光工位连接，第二传送工位与第二曝光工位连接，第一曝光工位与第二曝光工位相邻设置。本发明的全自动影像检查双台面曝光机，由一条出入移载机构服务两套曝光机构，减少了对场地空间的占用，节约了人工数量，对曝光效率进行了进一步优化，并可与前、后设备全自动衔接，增加了产能，提高了效率。