一种测量LDI内层对位精度的装置及其内层对位方法
基本信息
| 申请号 | CN202110428160.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113126452A | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN113126452A | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 蔡文涛;邱田生;詹泽军 | 申请（专利权）人 | 东莞市多普光电设备有限公司 |
| 代理机构 | 广东莞信律师事务所 | 代理人 | 谢树宏 |
| 地址 | 523000广东省东莞市长安镇连心北路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种测量LDI内层对位精度的装置及其内层对位方法，包括基座，基座上设有XYZ移动台、由该XYZ移动台控制移动的吸盘台面和下对准组件，吸盘台面的一端设有能够移动的标定靶点，基座上还设有支架，支架的横梁上设有第一相机和能够水平移动的第二相机，吸盘台面的边缘间隔设有多个靶点光源；本发明采用双向对摄抓点的视觉对位方法，抓取内层板上下两面的图形点。图形点由LDI曝光在内层板AB面再经显影蚀刻而得，A面和B面的图形点理论同心。先确认好第二相机和下对准组件相对于LDI曝光系统坐标系的旋转矩阵，再让第二相机和下对准组读取同一靶点，获取上下相机的同轴位置。 |
