掺杂氧化锌透明薄膜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201210067354.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103305792A | 公开（公告）日 | 2013-09-18 |
| 申请公布号 | CN103305792A | 申请公布日 | 2013-09-18 |
| 分类号 | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 谈一波;吴雪飞;黄琦凯 | 申请（专利权）人 | 江苏新源动力有限公司 |
| 代理机构 | 大连东方专利代理有限责任公司 | 代理人 | 赵淑梅 |
| 地址 | 214203 江苏省无锡市宜兴市荆邑北路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种氧化锌基掺杂元素透明导电薄膜，包括玻璃衬底层和表面具有微孔结构的氧化锌基掺杂元素膜层。是将掺杂元素和氧化锌混合、烘干、研磨，得前驱掺杂粉体，经混合、烧结制成掺杂元素氧化锌基靶材，再以玻璃为衬底层，采用磁控溅射法，真空抽气至0.6-3.0×10-4Pa，溅射气体为氩气、氧气、氢气、惰性气体或它们的混合气体；温度为室温至500℃，工作压力为0.06-3.0Pa，直流溅射功率为10-120W，沉积时间为3-60min；基材衬底距离为5-40nm，膜厚为100-2000nm。 |
