一种晶圆倒盒装置
基本信息
| 申请号 | CN202111244045.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113690169A | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN113690169A | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | H01L21/677 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 钱诚;童建;周志勇;霍召军 | 申请（专利权）人 | 亚电科技南京有限公司 |
| 代理机构 | 北京商专润文专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈平 |
| 地址 | 210000 江苏省南京市江宁区双龙大道1347号同曦大厦605-7室（江宁开发区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种晶圆倒盒装置，用于将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒完成倒盒。需要进行倒盒时，满载晶圆的晶圆盒放置到第一旋转组件上，空的晶圆盒放置到第二旋转组件上，第一旋转组件和第二旋转组件旋转使晶圆盒相对设置，之后由推动总成推动第一旋转组件上的晶圆盒内的晶圆推动到第二旋转组件上的晶圆盒内，而后，第一旋转组件和第二旋转组件旋转回归图位置，满载晶圆的晶圆盒和空的晶圆盒均被机械手抓走，可继续进行下一个晶圆的转移。 |
