单片晶圆清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN202110241048.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113083766A | 公开（公告）日 | 2021-07-09 |
| 申请公布号 | CN113083766A | 申请公布日 | 2021-07-09 |
| 分类号 | B08B3/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 钱诚;夏振;霍召军 | 申请（专利权）人 | 亚电科技南京有限公司 |
| 代理机构 | 北京商专润文专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈平 |
| 地址 | 210000江苏省南京市江宁区双龙大道1347号同曦大厦605-7室（江宁开发区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种单片晶圆清洗方法，晶圆朝上由清洗液喷管喷出清洗液进行清洗，再由清水喷管喷出清水，以去除晶圆上的清洗剂残留，使用清洗液喷管和清水喷管时，通过旋转清洗液喷管和清水喷管使之对应到达晶圆上方，无须使用则将清洗液喷管和清水喷管移走以防止干扰，清洗液喷管为并列的若干根可喷出不同类型的清洗液，实现一机多用。同时，加热后的氮气从转轴中间的通道经过空腔从通孔喷出，在加热晶圆的同时，在晶圆底部形成气流防止清洗液流入晶圆底面。再利用晶圆的转动和清洗液喷管的摆动来完成对整个晶圆的清洗，提好了清洗效果。 |
