红外热电堆温度传感器的自测试和自校准系统
基本信息
| 申请号 | CN201510767381.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105444893B | 公开（公告）日 | 2018-09-21 |
| 申请公布号 | CN105444893B | 申请公布日 | 2018-09-21 |
| 分类号 | G01J5/14 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 余丹;李佳 | 申请（专利权）人 | 北京中科微知识产权服务有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 江苏物联网研究发展中心;北京中科微知识产权服务有限公司 |
| 地址 | 214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种红外热电堆温度传感器的自测试和自校准系统，实现红外热电堆温度传感器在片上电激励下的自测试和自校准。其特点在于根据传统的MEMS工艺，为红外热电堆温度传感器提供电激励的同时，能够利用片上激励，对热电堆输出的信号进行放大，模数/数模转换和数字处理，从而实现对红外热电堆温度传感器片上响应率的自测试和自校准。优化了外部环境对热电堆温度传感器响应率的影响，减少了使用片外高精度的设备产生的测试和校准费用。 |
