平行板电容型MEMS加速度计内建自测试电路及自测试方法
基本信息
| 申请号 | CN201610161273.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105823907B | 公开（公告）日 | 2019-04-16 |
| 申请公布号 | CN105823907B | 申请公布日 | 2019-04-16 |
| 分类号 | G01P15/125（2006.01）I; G01P21/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 余丹; 李佳 | 申请（专利权）人 | 北京中科微知识产权服务有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 江苏物联网研究发展中心;北京中科微知识产权服务有限公司 |
| 地址 | 214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种平行板电容型MEMS加速度计内建自测试电路，以及一种自测试方法，对平行板电容加速度计提供电激励，将电容传感模块输出的信号进行放大，模数转换和数字处理，根据不同条件下的自测试供电电压V1和V2以及电容传感模块的输出响应Vc分析其灵敏度S，从而实现对平行板电容型MEMS加速度计的工艺缺陷进行诊断并且对电容加速度计的灵敏度S进行内建自测试。优化了外部环境和寄生电容对输出信号的影响，提高测试的标准化程度、降低对复杂测试仪器的依赖度，从而有效降低其测试与产品成本。 |
