一种提高器件强度的板级封装方法及结构
基本信息
申请号 | CN202110728977.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113643990A | 公开(公告)日 | 2021-11-12 |
申请公布号 | CN113643990A | 申请公布日 | 2021-11-12 |
分类号 | H01L21/56(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I;H01L23/528(2006.01)I;H05K3/40(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 不公告发明人 | 申请(专利权)人 | 华宇华源电子科技(深圳)有限公司 |
代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 叶新平 |
地址 | 518118广东省深圳市坪山新区田头马鞍岭路55号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种提高器件强度的板级封装方法:步骤1,在载体材料表面形成一层可剥离金属层;步骤2,在可剥离金属层表面涂一层感光塑封料;步骤3,对感光塑封料进行曝光、显影、固化,在表面做出开窗;步骤4,在感光塑封料表面再贴一层感光膜;步骤5,感光膜的开窗位置与感光塑封料的开窗位置相同,感光膜的开窗尺寸大于感光塑封料的开窗尺寸;步骤6,进行电镀铜,形成上大小下的铜柱;步骤7,退掉感光膜,露出铜柱,形成固定的基岛;步骤8,在基岛上进行芯片贴装;步骤9,进行二次塑封;步骤10,在二次塑封料表面,将芯片及作为承接盘的基岛引出;步骤11,将盲孔及二次塑封料表面金属化处理;步骤12,完成芯片电极和电极引出承接盘互联。 |
