一种新型光刻胶显影装置及显影方法
基本信息
| 申请号 | CN201811636147.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109375481A | 公开（公告）日 | 2019-02-22 |
| 申请公布号 | CN109375481A | 申请公布日 | 2019-02-22 |
| 分类号 | G03F7/30 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王晓龙;姚俊俊 | 申请（专利权）人 | 上海彩丞新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海彩丞新材料科技有限公司 |
| 地址 | 201600 上海市松江区中创路68号6幢2楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种新型光刻胶显影装置，包括基台固定架、光刻胶板固定架、显影液罐、超纯水罐、缓存槽以及液体流通口；所述显影液罐、超纯水罐选择性的与所述缓冲槽连通，所述缓冲槽内的液体通过液体流通口与外部连通；所述液体流通口位于光刻胶固定架上方，显影工艺是通过显影液与光刻胶发生化学反应而生成纹理图案，由于本装置显影时显影液均匀的流过光刻胶表面，避免了显影不均匀和光刻图案上残留气泡的问题，提高了产品的质量。 |
