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一种掩膜版清洗装置及其清洗方法

基本信息

申请号 CN201811590865.2 申请日 -
公开（公告）号 CN109482557A 公开（公告）日 2019-03-19
申请公布号 CN109482557A 申请公布日 2019-03-19
分类号 B08B3/02（2006.01）I; B08B1/00（2006.01）I; B08B13/00（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 王晓龙; 姚俊俊 申请（专利权）人 上海彩丞新材料科技有限公司
代理机构 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） 代理人 上海彩丞新材料科技有限公司
地址 201600 上海市松江区中创路68号6幢2楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种掩膜版清洗装置及其清洗方法，包括基台固定架、掩膜版固定架、喷淋冲洗机构、掩膜版固定架旋转驱动机构；掩膜版固定架用于夹持掩膜版，其为矩形状且宽度和长度可根据掩膜版的尺寸做出适应性调节；喷淋冲洗机构包含第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构，第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构可选择性的开启对所述掩膜版进行喷淋；掩膜版固定架旋转驱动机构可带动所述掩膜版固定架绕其水平中轴线以设定速度旋转，掩膜版简易清洗装置，单人操作即可完成，因避免了人为的直接接触，避免了掩膜版的二次污染。