一种硅基微显示器及其制备方法

基本信息

申请号 CN202110995493.7 申请日 -
公开(公告)号 CN113611730A 公开(公告)日 2021-11-05
申请公布号 CN113611730A 申请公布日 2021-11-05
分类号 H01L27/32(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 王卫卫;周文斌;冯峰;范国振;徐超;曹云岭;张峰;孙剑;高裕弟 申请(专利权)人 昆山梦显电子科技有限公司
代理机构 北京远智汇知识产权代理有限公司 代理人 范坤坤
地址 215300江苏省苏州市昆山市晨丰路188号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硅基微显示器及其制备方法,制备方法包括:提供驱动背板;在驱动背板的一侧依次形成第一电极层、第一功能层、白光发光层、第二功能层和第二电极层;其中,第一功能层和第二功能层中的至少一层包括通过多次错位蒸镀方式形成的厚度不完全相同的微腔调节层;不同厚度的微腔调节层用于增强白光发光层发射的白光中不同颜色的光。通过在掩膜版的作用下,采用多次错位蒸镀的方式,实现形成厚度不完全相同的微腔调节层,使得可以实现红色子像素、绿色子像素、蓝色子像素对应的微腔厚度不一致。保证了RGB对应的子像素点发光时,白光光谱峰值最大时分别对应RGB的峰位,最终实现硅基微显示器的亮度提升,改善了亮度提升困难的问题。