一种基板载台及蒸镀机
基本信息
| 申请号 | CN202122654285.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216107174U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216107174U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 朱晓庆;周文斌;王卫卫;徐超;李高敏;冯峰;孙剑;高裕弟 | 申请（专利权）人 | 昆山梦显电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 林波 |
| 地址 | 215300江苏省苏州市昆山市晨丰路188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及蒸镀机技术领域，公开一种基板载台及蒸镀机。其中基板载台包括载台本体，载台本体上设置有阶梯槽，沿阶梯槽的槽深方向，阶梯槽至少包括第一阶梯和第二阶梯，第一阶梯形成第一放置位，第二阶梯形成第二放置位，第一放置位和第二放置位的横截面形状不同，第一放置位和第二放置位用于放置与其横截面形状适配的基板。本实用新型通过在载台本体上设置阶梯槽，形成沿阶梯槽槽深方向的至少一个第一放置位和至少一个第二放置位，且第一放置位与第二放置位的横截面形状不同，使得同一个载台本体可以用于放置不同形状的基板，提高了基板载台的通用性，降低了成本低；在需要针对不同形状的基板蒸镀时，无需更换基板载台，提高了工作效率。 |
