红外探测器及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202010338053.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111664950A | 公开（公告）日 | 2020-09-15 |
| 申请公布号 | CN111664950A | 申请公布日 | 2020-09-15 |
| 分类号 | G01J5/52(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 姜利军;张云胜;钱良山 | 申请（专利权）人 | 杭州大立微电子有限公司 |
| 代理机构 | 上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 杭州大立微电子有限公司 |
| 地址 | 310053浙江省杭州市滨康路639号二区2402室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种红外探测器及其制备方法和应用，能够提高红外探测器的测温精度以及测定准确性。所述红外探测器，用于对被测物进行红外探测，包括标定模块，用于进行红外探测的标定，包括：密封罩，罩设于所述衬底上表面，在所述衬底上表面形成第一密闭空间；参考像元，设置于所述第一密闭空间内，用于检测红外光；辐射源，设置于所述第一密闭空间内，用于发射红外光供所述参考像元获取并检测，且所述辐射源的温度可控。 |
