一种用于镀膜腔室的防尘机构
基本信息
| 申请号 | CN202021944023.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213266679U | 公开（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申请公布号 | CN213266679U | 申请公布日 | 2021-05-25 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 鲍少娟;王继磊;李永乐;黄金;杨立友;贾慧君 | 申请（专利权）人 | 晋能光伏技术有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京慕达星云知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 姜海荣 |
| 地址 | 030600山西省晋中市山西综改示范区晋中开发区新能源汽车园区广安东街533号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于镀膜腔室的防尘机构，包括支撑板、防尘挡板和位移驱动机构；支撑板水平布置在镀膜腔室的内部，且位于镀膜基板和镀膜源的上方；防尘挡板由多块防尘单元板在水平面内可拆卸拼接组成；防尘挡板可拆卸连接在支撑板的底面上；位移驱动机构用于驱动支撑板实现水平移动。本实用新型通过防尘挡板吸附颗粒粉尘，防尘挡板由至少两个防尘单元板组成，通过位移驱动机构带动防尘挡板水平移动，可以快速更换防尘单元板，避免吸附在遮挡面上的杂质掉落镀膜基板上，还能避免杂质散落在镀膜腔体中而污染腔体；能有效延长设备维护周期，提高设备稼动率，降低设备运行成本，提升产品良率，还有利于挡板上镀膜材料的回收利用。 |
