一种叉指换能器、声表面波谐振器以及制备方法

基本信息

申请号 CN202210643496.9 申请日 -
公开(公告)号 CN114726335A 公开(公告)日 2022-07-08
申请公布号 CN114726335A 申请公布日 2022-07-08
分类号 H03H9/02(2006.01)I;H03H3/08(2006.01)I 分类 基本电子电路;
发明人 吴淑娴;钱航宇;吴宗霖;唐供宾;邹洁 申请(专利权)人 深圳新声半导体有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 518049广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园3栋801
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种叉指换能器、声表面波谐振器以及制备方法,该叉指换能器通过变迹或加权或变迹与加权结合的方式形成了本发明中的结构,该结构可以使得该叉指换能器中声波传播的方向与能量流动的方向尽可能接近,即可以使该叉指换能器的能流角无限接近于零(声波的相速度和群速度方向一致),从而抑制横向模式杂散的产生,进而改善包含该叉指换能器的声表面波谐振器的性能。