基于顶侧分开控制多晶硅铸锭炉的加热控制系统及方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

基于顶侧分开控制多晶硅铸锭炉的加热控制系统及方法

基本信息

申请号	CN201110206320.9	申请日	-
公开（公告）号	CN102289235B	公开（公告）日	2013-09-18
申请公布号	CN102289235B	申请公布日	2013-09-18
分类号	G05D23/30(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I	分类	控制；调节;
发明人	唐骏;赵松宏;陈先荣	申请（专利权）人	宁波晶元太阳能有限公司
代理机构	杭州中成专利事务所有限公司	代理人	宁波晶元太阳能有限公司
地址	315800 浙江省宁波市宁波保税区港东大道26号
法律状态	-

摘要

本发明涉及多晶硅铸锭炉的生产控制，旨在提供一种基于顶侧分开控制多晶硅铸锭炉的加热控制系统及方法。该系统中侧部加热器接于侧部电源，顶部加热器接于顶部电源，侧部电源和顶部电源通过导线连接至功率分配控制模块，另外设置中央控制模块、加热控制模块和长晶高度计算模块，以及炉室顶部的温控传感器、下水温流量传感器、侧水温流量传感器、侧加热器温度传感器、顶加热器温度传感器。本发明相对现有技术的优点是：晶体生长速度提高，缩短长晶时间；可以精确计算长晶速度及长晶高度，对长晶过程精确控制；加热器功率总功率降低，且由于其晶体生长时间缩短，能耗显著降低；使晶体生长界面更加平坦，晶粒垂直度更好且有利于其长大，晶体质量提高。