首页/ 宁波晶元太阳能有限公司/ 专利详情

基于顶侧分开控制多晶硅铸锭炉的加热控制系统

基本信息

申请号 CN201120261381.0 申请日 -
公开（公告）号 CN202175745U 公开（公告）日 2012-03-28
申请公布号 CN202175745U 申请公布日 2012-03-28
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 唐骏;赵松宏;陈先荣 申请（专利权）人 宁波晶元太阳能有限公司
代理机构 杭州中成专利事务所有限公司 代理人 宁波晶元太阳能有限公司
地址 315800 浙江省宁波市保税区港东大道26号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及多晶硅铸锭炉的生产控制，旨在提供一种基于顶侧分开控制多晶硅铸锭炉的加热控制系统。该系统中侧部加热器接于侧部电源，顶部加热器接于顶部电源，侧部电源和顶部电源通过导线连接至功率分配控制模块，另外设置中央控制模块、加热控制模块和长晶高度计算模块，以及炉室顶部的温控传感器、下水温流量传感器、侧水温流量传感器、侧加热器温度传感器、顶加热器温度传感器。本实用新型的优点是：晶体生长速度提高，缩短长晶时间；可以精确计算长晶速度及长晶高度，对长晶过程精确控制；加热器功率总功率降低，且由于其晶体生长时间缩短，能耗显著降低；使晶体生长界面更加平坦，晶粒垂直度更好且有利于其长大，晶体质量提高。