一种DNA碱基序列检测的纳米孔三明治结构及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201811044329.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109182484A | 公开（公告）日 | 2019-01-11 |
| 申请公布号 | CN109182484A | 申请公布日 | 2019-01-11 |
| 分类号 | C12Q1/6869;C23C16/34;C23C16/40 | 分类 | 生物化学；啤酒；烈性酒；果汁酒；醋；微生物学；酶学；突变或遗传工程; |
| 发明人 | 袁志山;俞骁;凌新生 | 申请（专利权）人 | 南京罗岛纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京钟山专利代理有限公司 | 代理人 | 戴朝荣 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号中科院纳米所D栋918室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种DNA碱基序列检测的纳米孔三明治结构及其制作方法。首先在基体两侧表面沉积Si3N4/SiO2/Si3N4三层纳米薄膜；接着刻蚀基体一侧薄膜形成基板释放窗口；接着刻蚀基体另外一侧薄膜中的顶层Si3N4；然后使用碱性溶液从基体释放窗口刻蚀基板得到由Si3N4/SiO2两层纳米薄膜组成的自支撑纳米薄膜。接着在SiO2上方沉积Si3N4，再次得到悬空的纳米薄膜结构，退火，使用氦离子束刻蚀出纳米通孔；最后使用缓冲过的氢氟酸刻蚀SiO2，得到由SiO2空腔和两个Si3N4纳米孔组成的三明治结构。本发明工艺简单，与CMOS工艺的兼容使其有较好的扩展性，同时可以重复循环使用，有较广的使用前景。 |
