一种基片架
基本信息
| 申请号 | CN201721670447.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207619521U | 公开（公告）日 | 2018-07-17 |
| 申请公布号 | CN207619521U | 申请公布日 | 2018-07-17 |
| 分类号 | C23C14/50;C23C14/35 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 桂丹;旷玉林 | 申请（专利权）人 | 江西中科泰盛光电有限公司 |
| 代理机构 | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 黄宗熊 |
| 地址 | 343700 江西省吉安市泰和县工业园区泰和电子智能终端产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种基片架，包括框架，框架设有装载玻璃基片的区域，该区域设有至少一个二面固定结构；二面固定结构包括位于下部的支座和位于上部的弹性支撑件；支座设有前后两个并列设置的定位部，该定位部用于限位玻璃基板的一边，弹性支撑件设有前后两个并列设置的弹性件，该弹性件用于弹性限位所述的玻璃基板的一边所相对的另一边。本实用新型通过将基片架一面装取改为前后二面装取，装载量为现有技术的两倍，极大地提高生产效率，减少了人力、物力和溅射工艺消耗的能源，大大降低生产成本。 |
