一种靶材部件及平面靶
基本信息
| 申请号 | CN201721669899.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207552437U | 公开（公告）日 | 2018-06-29 |
| 申请公布号 | CN207552437U | 申请公布日 | 2018-06-29 |
| 分类号 | C23C14/35 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 桂丹 | 申请（专利权）人 | 江西中科泰盛光电有限公司 |
| 代理机构 | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 黄宗熊 |
| 地址 | 343700 江西省吉安市泰和县工业园区泰和电子智能终端产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种靶材部件，包括靶材和底座，所述靶材包括多个靶材片，多个靶材片排列形成靶面，各个靶材片均与底座连接，各个靶材片与所述底座经铟焊接，各个靶材片均为条形，且相互平行或基本相互平行，各个靶材片均为长度一致或基本一致的矩形片，以靶面中心线为分割线，自靶面中心线向靶面两侧方向，各个靶材片的宽度逐渐变大，各矩形片形成的靶面为矩形面。本实用新型通过调整靶材片来保持靶面满足溅射工艺的要求，将较快速度消耗掉的靶材片，通过将其移至其它位置，并由仍然较厚的靶材片取而代之，实现保持靶面满足溅射工艺的要求，大大的提高了靶材的利用率。 |
