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一种阵列式超声换能器及其制作方法

基本信息

申请号 CN202011313542.6 申请日 -
公开（公告）号 CN112657817A 公开（公告）日 2021-04-16
申请公布号 CN112657817A 申请公布日 2021-04-16
分类号 B06B1/06 分类 一般机械振动的发生或传递;
发明人 马腾;张琪;黄继卿;李永川;郑海荣 申请（专利权）人 深圳皓影医疗科技有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 骆宗力
地址 518055 广东省深圳市南山区西丽深圳大学城学苑大道1068号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种阵列式超声换能器及其制作方法，本发明提供的超声换能单元能够通过声阻抗匹配层解决超声换能单元与目标物体之间阻抗不匹配的问题，提高超声换能单元的输出带宽和幅值响应，增大其成像分辨率和灵敏度。并且超声换能单元能够通过声学超构表面实现对波束控制及偏转、波束聚焦等调节时产生声场畸变进行矫正，同时实现超声换能单元成像分辨率及信噪比的进一步提升。以及通过将多个超声换能单元呈阵列排布得到阵列式超声换能器，进而提高阵列式超声换能器的适用范围和性能。同时，本发明采用正向生长工艺生长声阻抗匹配层，进而能够提高声阻抗匹配层的厚度精准度，进一步提高阵列式超声换能器的性能。