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一种用于半导体抛光的输送管路清洗装置

基本信息

申请号 CN202020914632.X 申请日 -
公开（公告）号 CN212597655U 公开（公告）日 2021-02-26
申请公布号 CN212597655U 申请公布日 2021-02-26
分类号 B08B9/032(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 彭代全 申请（专利权）人 上海裕诗实业有限公司
代理机构 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 代理人 王一琦
地址 201620上海市松江区新松江路1800弄3号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于半导体抛光的输送管路清洗装置，其包括：推车本体，底部设有万向轮，推车本体的内部上方和下方分别设有管路容置腔和清洗桶容置腔；清洗桶，放置在清洗桶容置腔内，清洗桶包括依次并排放置的第一纯水桶、KOH桶和第二纯水桶，第一纯水桶、KOH桶和第二纯水桶的底部均经液位传感器和气动阀门与电动水泵的入口相连接，电动水泵的出口经连接管与待清洗的输送管路相连接，其中，KOH桶内设置有KOH溶液；纯水管路，一端与外部的纯水供水管路相连接，纯水管路的另一端穿过管路容置腔后分别与第一纯水桶、KOH桶和第二纯水桶的顶部相连通。本实用新型不仅清洗效果好、清洗效率高，而且使用简单方便、安全性高。