一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统
基本信息
| 申请号 | CN202020458014.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212003813U | 公开（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申请公布号 | CN212003813U | 申请公布日 | 2020-11-24 |
| 分类号 | F15B19/00(2006.01)I | 分类 | 流体压力执行机构；一般液压技术和气动技术; |
| 发明人 | 彭代全 | 申请（专利权）人 | 上海裕诗实业有限公司 |
| 代理机构 | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王一琦 |
| 地址 | 201620上海市松江区新松江路1800弄3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统，半导体设备机台内设有气缸，气缸包括缸体和活塞杆，系统包括：感应单元，包括感应片、感应器、安装支架和位置调节机构，感应片固定在活塞杆的顶部侧壁上，感应器安装在安装支架上，安装支架经位置调节机构与缸体的顶部端面相连接；报警单元，安装在半导体设备机台上；控制器，分别与气缸和感应器相连接，控制器还经常闭继电器与报警单元相连接。本实用新型能准确高效地侦测气缸的实际动作的作用；并且，避免了感应器存在故障或一直保持同一状态导致的失效风险；同时，当侦测系统断电或者程序故障，常闭继电器会断开，使报警单元立刻发出警报，从而有效地提高了保护效果。 |
