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一种应用于半导体设备的液体管路侦测装置

基本信息

申请号 CN202020262856.7 申请日 -
公开（公告）号 CN211780227U 公开（公告）日 2020-10-27
申请公布号 CN211780227U 申请公布日 2020-10-27
分类号 F17D1/08(2006.01)I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 彭代全 申请（专利权）人 上海裕诗实业有限公司
代理机构 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 代理人 王一琦
地址 201620上海市松江区新松江路1800弄3号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种应用于半导体设备的液体管路侦测装置，其包括：管路本体，设置在半导体设备中，管路本体包括沿液体流向依次设置的第一管路本体和第二管路本体，第一管路本体和第二管路本体经电磁阀相连通或断开；压力开关，设置在第二管路本体上；PLC控制单元，用于采集电磁阀的启停信号及压力开关的压力信号；应急清洁管道，一端与第一管路本体相连通，应急清洁管道的另一端与三通阀的入口相连通，三通阀的第一出口与第二管路本体相连通，三通阀的第二出口与排污管相连通，其中，应急清洁管道上设有第一手动开关阀，排污管上设有第二手动开关阀。本实用新型能使故障被快速准确地检测出来，还能提高第二管路本体的清洁度和使用寿命。