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一种半导体抛光液的旋转输送装置

基本信息

申请号 CN202020914605.2 申请日 -
公开（公告）号 CN212287264U 公开（公告）日 2021-01-05
申请公布号 CN212287264U 申请公布日 2021-01-05
分类号 B24B57/02(2006.01)I 分类 磨削；抛光;
发明人 彭代全 申请（专利权）人 上海裕诗实业有限公司
代理机构 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 代理人 王一琦
地址 201620上海市松江区新松江路1800弄3号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体抛光液的旋转输送装置，其包括：旋转臂，包括竖管、旋转头、固定平台和旋转平台，竖管与旋转头旋转连接，浆液输送管从竖管的底部穿入后从旋转头的头部穿出；竖管的顶部与固定平台固定连接，旋转头的底部与旋转平台固定连接，旋转平台位于固定平台的上方；定位机构，包括定位孔、套管、定位销和弹性驱动单元，定位孔设置在旋转平台的尾部，套管固定在固定平台的上表面，定位销活动地穿设在套管内，弹性驱动单元与定位销相连接。本实用新型能使竖管与旋转头的复位角度保持在初始位置，减少了调整的难度和时间，且本实用新型还具有操作简单、结构小巧、安装简单、不影响原有机台功能等优点。