半导体结构及半导体结构的形成方法
基本信息
申请号 | CN202010988486.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114203698A | 公开(公告)日 | 2022-03-18 |
申请公布号 | CN114203698A | 申请公布日 | 2022-03-18 |
分类号 | H01L27/092(2006.01)I;H01L21/8238(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 纪世良;涂武涛;陈建;张海洋 | 申请(专利权)人 | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐文欣 |
地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种半导体结构,包括:衬底,所述衬底包括第一区和第二区,所述第二区位于相邻第一区之间;位于衬底上的第一鳍部结构和第二鳍部结构,所述第一鳍部结构横跨所述第二区,所述第二鳍部结构平行于所述第一鳍部结构;位于第二区上的第一防扩散结构和第二防扩散结构,部分所述第一防扩散结构位于第一鳍部结构内,部分所述第二防扩散结构位于第二鳍部结构内,所述第一防扩散结构至少和两个第二防扩散结构相接。所述半导体结构的性能得到提升。 |
