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一种高效能MEMS激光雷达接收系统

基本信息

申请号	CN202011357092.0	申请日	-
公开（公告）号	CN112612014A	公开（公告）日	2021-04-06
申请公布号	CN112612014A	申请公布日	2021-04-06
分类号	G01S7/481(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	张艳妮;郑文会;夏长锋;范乔丹	申请（专利权）人	西安知微传感技术有限公司
代理机构	西安智邦专利商标代理有限公司	代理人	汪海艳
地址	710077陕西省西安市高新区丈八街办锦业一路52号宝德云谷国际A座301室
法律状态	-

摘要

本发明属于激光雷达技术领域，具体涉及一种高效能MEMS激光雷达接收系统。解决由于MEMS微振镜尺寸小，导致MEMS激光雷达测距能力不够的问题，包括异型聚光镜、MEMS微振镜、准直透镜、后聚光透镜以及光电探测器；异型聚光镜与MEMS微振镜的中心处于同一直线上，且光轴呈一定的角度；MEMS微振镜、准直透镜、后聚光透镜、光学探测器的中心处于同一直线上，且同光轴设置；异型聚光镜用于将经目标反射的大面积反射光束在子午和/或弧矢方向聚焦；MEMS微振镜用于将异型聚光镜聚焦后的线光束或点阵光束反射至准直透镜；准直透镜用于将MEMS微振镜的反射光束在子午和弧矢方向的至少一个方向上进行光束准直；后聚光透镜用于将准直透镜准直后的平行光束会聚在光电探测器。