一种基于光电反馈的MEMS振镜模组
基本信息
| 申请号 | CN201922064353.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210776029U | 公开（公告）日 | 2020-06-16 |
| 申请公布号 | CN210776029U | 申请公布日 | 2020-06-16 |
| 分类号 | G02B26/08(2006.01)I;G01H9/00(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 夏长锋;宋秀敏;何耀军;郑文会;乔大勇 | 申请（专利权）人 | 西安知微传感技术有限公司 |
| 代理机构 | 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人 | 西安知微传感技术有限公司 |
| 地址 | 710077陕西省西安市高新区丈八五路10号陕西省科技资源统筹中心B503室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于光电检测和微光机电系统领域，具体涉及一种基于光电反馈的MEMS振镜模组。解决振镜研发耗费时间长成本高的问题。包括密封壳体及位于密封壳体内部的振镜驱动组件与振镜反馈组件；振镜反馈组件包括激光器及光电检测电路板；激光器与光电检测电路板均与主控板电连接；激光器出射的光束入射至振镜反面反射面；振镜反面反射面将光束反射后入射至光电检测电路板；光电检测电路板用于检测振镜的振动参数，并将振动参数反馈至主控板；主控板的输出端通过连接线引出密封壳体。通过振镜光电检测反馈组件，直接探测振镜振动位置，得到振镜的幅值和相位信息，可根据振镜振动的实际幅值和相位调节驱动信号，使振镜工作状态稳定在目标角度。 |
