一种对称性结构布局的压电顶针系统
基本信息
申请号 | CN201910407694.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110137108A | 公开(公告)日 | 2019-08-16 |
申请公布号 | CN110137108A | 申请公布日 | 2019-08-16 |
分类号 | H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 任敬之;朱起超;范杨雷;张淑兰 | 申请(专利权)人 | 北京派和科技股份有限公司 |
代理机构 | 北京头头知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京派和科技股份有限公司 |
地址 | 100085 北京市海淀区清河龙岗路27号1号楼202室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及微电子封装技术领域,目的是提供一种对称性结构布局的压电顶针系统,结构紧凑,工作频率高、可靠性强、生产效率高。上述压电顶针系统包括顶针、驱动所述顶针往复运动的驱动机构和传动机构,驱动机构包括框体、设置于所述框体内的多铰链多级放大组件和压电陶瓷,所述压电陶瓷水平设置于所述多铰链多级放大组件内且两端与所述多铰链多级放大组件固定,所述多铰链多级放大组件相对于所述压电陶瓷的轴线上下对称,且所述多铰链多级放大组件、所述传动机构和所述顶针均相对于所述压电陶瓷的垂直中心线左右对称。本发明解决了现有顶针系统零件种类繁多,工作频率低的问题。 |
