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一种太阳能电池片石墨舟饱和的方法

基本信息

申请号 CN201310524344.8 申请日 -
公开（公告）号 CN103560171B 公开（公告）日 2016-09-28
申请公布号 CN103560171B 申请公布日 2016-09-28
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 谢余才;陈刚刚;李昕洁;许莉 申请（专利权）人 宁夏银星能源股份有限公司
代理机构 宁夏专利服务中心 代理人 赵明辉
地址 750021 宁夏回族自治区银川市西夏区六盘山西路166号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种太阳能电池片石墨舟饱和的方法。其特点是，包括如下步骤：（1）将21片石墨舟送进炉管；（2）抽真空，时间3600s；（3）通入氨气，温度控制在425℃，放电功率7200w，持续240秒；（4）抽真空，通入氮气7500sccm，时间20秒，再抽真空，重复两次后恢复；（5）抽真空，通入氨气7500sccm，温度控制在420?430℃，预沉积120秒，再通入硅烷，持续放电9000?10000秒；（6）停止通气，抽真空，至压力达到35毫托时，通入氮气6000sccm，再抽真空，重复两次后恢复；（7）卸料即可。采用本发明的方法后，可以避免石墨舟饱和不充分，导致工艺过程中产生色差片的缺陷。