用于石英玻璃渗氢工艺的料架、反应釜及装置
基本信息
| 申请号 | CN202110752142.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113443820A | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN113443820A | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | C03B20/00（2006.01）I;C03C23/00（2006.01）I | 分类 | 玻璃；矿棉或渣棉; |
| 发明人 | 李建均;高运周;黄远坤 | 申请（专利权）人 | 神光光学集团有限公司 |
| 代理机构 | 成都欣圣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 彭伟;胡小亮 |
| 地址 | 610000四川省成都市成华区建设南街9号2层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种用于石英玻璃渗氢工艺的料架、反应釜及装置，涉及光刻级熔石英玻璃材料生产领域。本发明的料架包括圆筒状的外壳，外壳内设有与其连接的杆状结构的支撑件，外壳上均匀布满若干进气孔；本发明的反应釜包括密闭容腔，密闭容腔中设有用于加热的加热组件，密闭容腔内设有料架；本发明的装置包括反应釜、用于对反应釜抽真空的真空系统、用于将氮气或氢气充入反应釜内的充气系统以及用于排出并燃烧反应釜内氢气的氢气燃烧系统，石英玻璃在支撑件上完成渗氢工艺。 |
