一种光刻机Mark点的CCD调焦装置
基本信息
| 申请号 | CN202021705398.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212694246U | 公开（公告）日 | 2021-03-12 |
| 申请公布号 | CN212694246U | 申请公布日 | 2021-03-12 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张雪奎;牛立久 | 申请（专利权）人 | 山东华楷微电子装备有限公司 |
| 代理机构 | 苏州金项专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 金星 |
| 地址 | 276800山东省日照市日照高新区高新六路17号日照智慧微电产业园（高新六路与艳阳路交汇处） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光刻机Mark点的CCD调焦装置，包括连接板，连接板上螺纹孔，螺纹孔上螺纹安装有螺套，螺套上螺纹连接有螺杆，螺杆上螺纹连接有用于与CCD相机连接的调节套；螺套、螺杆和调节套的内部在轴向上相互连通。通过螺套在连接板上的旋转，不仅可以微调CCD相机的焦距，而且实现了CCD相机拍摄位置的旋转式调节，以便与拍摄的Mark点上下对应；通过调节套与螺杆的螺纹连接，便于调节套的轴向滑移，从而达到大范围调节的焦距目的。实现了CCD相机焦距的微调和大范围调节的目的，不同焦距的CCD相机均可在该装置上使用，提高了CCD相机使用的通用性，有效降低了购置不同焦距CCD相机的成本。 |
