用于去除彩色滤光片制程中不良基板上彩色光刻胶及保护层的剥离液
基本信息
| 申请号 | CN200810244714.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101430510A | 公开（公告）日 | 2009-05-13 |
| 申请公布号 | CN101430510A | 申请公布日 | 2009-05-13 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 顾奇;朱海盛 | 申请（专利权）人 | 苏州苏电微电子信息化学品研发中心有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人 | 苏州苏电微电子信息化学品研发中心有限公司 |
| 地址 | 215001江苏省苏州市吴中区东吴北路31号C幢602室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种用于去除彩色滤光片制程中不良基板上彩色光刻胶及保护层的剥离液，其配方：无机碱氢氧化物5～15wt％，水溶性有机胺化合物1～20wt％，烷基二醇烷基醚1～20wt％，聚氧乙烯醚0.1～10wt％，水35～80wt％。配制的剥离液广泛用于去除彩色滤光片制程中不良基板上彩色光刻胶及保护层，不损坏玻璃基板，使处理后的玻璃基板可重新利用。 |
