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硅粉在多晶硅铸锭制备中的应用

基本信息

申请号 CN201910230570.2 申请日 -
公开（公告）号 CN109811408A 公开（公告）日 2019-05-28
申请公布号 CN109811408A 申请公布日 2019-05-28
分类号 C30B28/06（2006.01）I; C30B29/06（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 李建军; 史燕凯; 吴增伟 申请（专利权）人 西安华晶电子技术股份有限公司
代理机构 西安创知专利事务所 代理人 西安华晶电子技术股份有限公司
地址 710077 陕西省西安市高新区锦业二路91号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了硅粉在多晶硅铸锭制备中的应用，该多晶硅铸锭的制备方法包括：一、将硅粉与硅回用料、硅颗粒、多晶硅块料、多晶硅棒料、硅籽晶装入到铸锭炉的石英坩埚中作为铸锭用硅料；步骤二、对铸锭炉抽真空后加热；三、将铸锭用硅料熔化；四、向铸锭炉中通入氩气并保压降温进行定向凝固长晶；五、向铸锭炉中持续通入氩气退火；六、向铸锭炉中持续通入氩气冷却得到多晶硅铸锭。本发明将硅粉作为多晶硅铸锭的制备硅料之一，采用独特的装料方式，有效增加了硅料及硅粉的装炉量，改善了硅料之间的传热效果，保证了硅粉的充分熔化，提高了多晶硅铸锭的成品率，进而提高了多晶硅铸锭的少子寿命；同时无需将硅粉预先压制成粉饼，降低了制备成本。