基于辅助加热的多晶硅铸锭用加热系统
基本信息
| 申请号 | CN201620909627.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205907393U | 公开（公告）日 | 2017-01-25 |
| 申请公布号 | CN205907393U | 申请公布日 | 2017-01-25 |
| 分类号 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 刘波波;李建军;贺鹏;虢虎平;史燕凯 | 申请（专利权）人 | 西安华晶电子技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 西安创知专利事务所 | 代理人 | 西安华晶电子技术股份有限公司 |
| 地址 | 710077 陕西省西安市高新区锦业二路91号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种基于辅助加热的多晶硅铸锭用加热系统，包括主控器、布设在多晶硅铸锭炉内的六面加热装置和对六面加热装置的加热温度进行实时检测的温度检测装置，六面加热装置包括辅助加热器、位于多晶硅铸锭炉内的坩埚上方的顶部加热器和四个分别布设在坩埚的四个侧壁外侧的侧部加热器，辅助加热器为布设在坩埚下方的底部加热器；温度检测装置包括顶部加热温度检测单元、侧部加热温度检测单元和底部加热温度检测单元；多晶硅铸锭炉内设置有保温筒，六面加热装置位于保温筒内。本实用新型结构简单、设计合理且使用操作简便、使用效果好，采用六面加热装置对坩埚内硅料进行加热，能解决现有多晶硅铸锭炉所采用五面加热结构存在的多种问题。 |
