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一种多晶硅铸锭炉用六面加热装置

基本信息

申请号 CN201620909997.7 申请日 -
公开（公告）号 CN205907394U 公开（公告）日 2017-01-25
申请公布号 CN205907394U 申请公布日 2017-01-25
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 李建军;刘波波;贺鹏;虢虎平;史燕凯 申请（专利权）人 西安华晶电子技术股份有限公司
代理机构 西安创知专利事务所 代理人 西安华晶电子技术股份有限公司
地址 710077 陕西省西安市高新区锦业二路91号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉用六面加热装置，包括布设在多晶硅铸锭炉内的坩埚上方的顶部加热器、四个分别布设在坩埚的四个侧壁外侧的侧部加热器和布设在坩埚下方的底部加热器，坩埚为立方体坩埚；坩埚呈水平布设，顶部加热器和底部加热器均呈水平布设，四个侧部加热器均呈竖直向布设；顶部加热器、底部加热器和四个侧部加热器均布设于多晶硅铸锭炉内。本实用新型结构简单、设计合理且使用操作简便、使用效果好，通过在坩埚下方增设底部加热器对坩埚内硅料进行六面加热，能解决现有多晶硅铸锭炉所采用五面加热结构存在的熔化效率较低、坩埚底部气体难以排除、铸锭成品底部的含氧量较高等问题。