多晶硅铸锭坩埚底部氮化硼涂层材料及其涂覆方法
基本信息
| 申请号 | CN201610694654.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106348788B | 公开（公告）日 | 2019-11-26 |
| 申请公布号 | CN106348788B | 申请公布日 | 2019-11-26 |
| 分类号 | C04B41/87（2006.01）; F26B23/00（2006.01） | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 贺鹏; 刘波波; 吴增伟; 蔺文 | 申请（专利权）人 | 西安华晶电子技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 西安创知专利事务所 | 代理人 | 西安华晶电子技术股份有限公司 |
| 地址 | 710077 陕西省西安市高新区锦业二路91号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多晶硅铸锭坩埚底部氮化硼涂层材料，由以下重量份的原料制成：有机胶结剂1份，去离子水2～2.5份，氮化硼0.8～1.2份，该涂层材料以氮化硼作为主要原料，能增大坩埚底部导热效果，并能降低坩埚底部氧含量，并且稳定性好，铸锭过程中不易形成硬质点，能有效保证铸锭成品的质量。同时，本发明还公开了一种将氮化硼涂层材料在多晶硅铸锭坩埚底部涂覆的方法，包括步骤：一、涂层喷涂液配制；二、喷涂：坩埚内部底面上1m2区域内喷涂的涂层喷涂液中所含氮化硼的质量为100～200g；三、烘干；该涂覆方法简单、设计合理且使用效果好，能简便、快速且高质量完成坩埚底部涂层的涂覆过程，所制作底部涂层的使用效果好。 |
