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一种铟铝共掺硫化锌薄膜及其制备方法

基本信息

申请号	CN201911214221.8	申请日	-
公开（公告）号	CN110747436A	公开（公告）日	2020-02-04
申请公布号	CN110747436A	申请公布日	2020-02-04
分类号	C23C14/30;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/58	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	李文剑;陈伟新;赖文彬	申请（专利权）人	福建省电子信息应用技术研究院有限公司
代理机构	福州市景弘专利代理事务所（普通合伙）	代理人	福建省电子信息应用技术研究院有限公司
地址	350000 福建省福州市鼓楼区软件园大道89号F区5号楼28层
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种铟铝共掺硫化锌薄膜的及其制备方法，所述制备方法以下步骤：基片清洗：通过超声波反复震荡清洗玻璃基片，然后烘干玻璃基片；本征ZnS材料第一次蒸镀：在真空环境中，通过电子束在玻璃基片上蒸镀ZnS材料，形成第一层薄膜；铟铝掺杂：当形成第一层薄膜后，首先在第一层薄膜上真空蒸镀单质In，蒸镀单质In后，再次通过电子束蒸镀ZnS材料，形成第二层薄膜；在第二层薄膜上真空蒸镀Al单质；本征ZnS材料第三次蒸镀：蒸镀Al单质后，再次通过电子束蒸镀ZnS材料，形成第三层薄膜，得到掺杂硫化锌薄膜；快速退火：通过在氩气对得到的掺杂硫化锌薄膜进行退火。通过真空电子束蒸发制备的铟铝掺杂硫化锌薄膜，成份易控制，成本低，产品性能优良。