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一种MEMS麦克风

基本信息

申请号 CN201921856445.4 申请日 -
公开（公告）号 CN210670559U 公开（公告）日 2020-06-02
申请公布号 CN210670559U 申请公布日 2020-06-02
分类号 H04R19/04(2006.01)I 分类 电通信技术;
发明人 唐晓琦;金文盛;贾玉鑫;张彦秀 申请（专利权）人 北京燕东微电子股份有限公司
代理机构 北京正理专利代理有限公司 代理人 张磊
地址 100015北京市朝阳区东直门外西八间房万红西街2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种MEMS麦克风，包括基板、芯片组件以及壳体，其中壳体与基板固定连接，形成用于容纳芯片组件的腔体，壳体设有朝向基板方向延伸的凹陷结构，凹陷结构包括朝向基板方向延伸的倾斜部以及平行于基板的水平部，凹陷结构间隔设有至少两个声孔。本实用新型通过在壳体上设置凹陷结构和声孔，使凹陷结构可以阻挡外界的异物和液体进入腔体内，提高了麦克风的可靠性，此外凹陷结构还使得加工MEMS麦克风过程中，能够避免因外部冲击所导致的壳体变形甚至MEMS声音传感器以及ASIC芯片等发生破损，从而延长MEMS麦克风的使用寿命。