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一种指向性MEMS麦克风

基本信息

申请号 CN201921844376.5 申请日 -
公开（公告）号 CN210670558U 公开（公告）日 2020-06-02
申请公布号 CN210670558U 申请公布日 2020-06-02
分类号 H04R19/04(2006.01)I 分类 电通信技术;
发明人 唐晓琦;金文盛;刘伟;张彦秀 申请（专利权）人 北京燕东微电子股份有限公司
代理机构 北京正理专利代理有限公司 代理人 张磊
地址 100015北京市朝阳区东直门外西八间房万红西街2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种指向性MEMS麦克风，包括第一基板、第二基板、第三基板、壳体以及芯片组件，其中：第一基板与壳体密封连接，形成用于容纳第二基板、第三基板以及芯片组件的腔体；第一基板上设有第一声孔；第二基板贴合设置在第一基板与第三基板之间，第二基板与第一声孔对应的位置上设有多个第二声孔，多个第二声孔排布形成网状结构；第三基板上设有与第一声孔同轴的第三声孔，第三基板远离第二基板的表面上固定有芯片组件。本实用新型提供的指向性MEMS麦克风，结构非常简单且制造成本较低。此外，由于第二声孔还能够对外界异物及水进行有效阻挡，从而对腔体内的电子元器件形成有效保护，提高指向性MEMS麦克风的使用寿命。