一种硅烷气相热分解制备高纯度纳米级硅粉的方法以及装置
基本信息
| 申请号 | CN201910863591.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110526248B | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN110526248B | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | C01B33/027(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 郑安雄;栗广奉;张鹏飞;范金立;吴前程 | 申请（专利权）人 | 浙江中宁硅业有限公司 |
| 代理机构 | 衢州维创维邦专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 高永志 |
| 地址 | 324000浙江省衢州市柯城区高新技术产业园区华荫北路27号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及硅粉制备技术领域，尤其是涉及一种硅烷气相热分解制备高纯度纳米级硅粉的方法以及装置。本发明的技术方案是这样实现的：一种硅烷气相热分解制备高纯度纳米级硅粉的装置，其特征在于：根据制备顺序依次包括预热釜、气相热分解箱、硅粉收集装置、过滤装置以及氢气冷却器；本发明所提出的硅粉制备方法具有步骤简单、生产高效、产品质量高等优点，本发明所提出的硅粉制备的装置具有结构简单，便于操作，生产效率高以及节能等优点。 |
