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一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置

基本信息

申请号 CN202020737330.X 申请日 -
公开（公告）号 CN212167037U 公开（公告）日 2020-12-18
申请公布号 CN212167037U 申请公布日 2020-12-18
分类号 B01D53/78;B01D53/68 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 栗广奉;郑安雄;姜忠平;吴前程 申请（专利权）人 浙江中宁硅业有限公司
代理机构 衢州维创维邦专利代理事务所（普通合伙） 代理人 浙江中宁硅业有限公司
地址 324000 浙江省衢州市柯城区高新技术产业园区华荫北路27号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，包括一级循环水洗部、二级循环水洗部、三级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机；所述一级循环水洗部、二级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机依次逐级连通，其特征在于：所述一级循环部的输入端设置有用于缓冲待处理的SIF4气体压力波动的缓冲单元；所述缓冲单元包括尾气缓冲罐；所述尾气缓冲罐包括内部设置有缓冲腔的罐体、设置在缓冲腔内的螺旋缓冲管以及蝶阀；所述尾气缓冲罐上设置有进气管和出气管；所述螺旋缓冲管横向设置缓冲腔内；且螺旋缓冲管的两端分别与进气管和出气管连通；所述蝶阀安装在出气管的输出口内。本发明实用性强，易于推广。