一种防静电触摸显示一体屏的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201910717210.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110527963B | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN110527963B | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/08 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 郑建军;岳伟;杨夫舜;聂平 | 申请（专利权）人 | 芜湖长信科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孟迪 |
| 地址 | 241009 安徽省芜湖市经济技术开发区汽经二路六号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种防静电触摸显示一体屏的制造方法，属于触摸显示屏技术领域，该制造方法的步骤为：对TFT基板清洁，将TFT基板放置在磁控溅射腔室的样品架上，保持磁控溅射腔室的真空度0.25Pa～0.35Pa，将TFT基板加热至55℃～65℃，通入氧气和氩气，TFT基板的运行速度保持1.1m/min，磁控溅射设备的电压为335Pa～345Pa、功率为2500W～3500W下镀膜，本发明的有益效果是，采用磁控溅射技术在基板上镀膜，通过控制磁控溅射过程中的相关参数，使膜层在具备防静电的同时而不影响触控效果，整体工艺方法简单、制造成本低、产能大、膜层性能稳定，膜层厚度较小，更有利于使触摸屏往轻薄化的方向发展。 |
