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一种电路基板与散热器间低孔洞的纳米银线烧结工艺

基本信息

申请号 CN201410598620.X 申请日 -
公开（公告）号 CN104362134A 公开（公告）日 2015-02-18
申请公布号 CN104362134A 申请公布日 2015-02-18
分类号 H01L23/373(2006.01)I;H01B1/22(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 林图强;崔国峰 申请（专利权）人 广州丰江微电子有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 广州丰江微电子有限公司;中山大学
地址 511475 广东省广州市南沙区东涌镇太石工业区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种电路基板与散热器间低孔洞的纳米银线烧结工艺。电路基板与散热器高导热互连的热界面层为纳米银线通过烧结制成。一种电路基板与散热器间低孔洞的纳米银线烧结工艺，步骤为：1）在散热器表面形成Ni/Au层或Ni/Ag层；2）在电路基板背面电镀铜，再形成Ni/Au层或Ni/Ag层；3）在形成了Ni/Au层或Ni/Ag层后的散热器和电路基板间填充纳米银线；4）烧结即可。本发明也公开了烧结纳米银线层作为热界面层在电路基板与散热器高导热互连中的应用。本发明的热界面层的气孔率低，可以实现散热器和电路基板的高导热互连。