一种单晶炉拉升腔体用清理工具
基本信息
申请号 | CN201120531743.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN202401159U | 公开(公告)日 | 2012-08-29 |
申请公布号 | CN202401159U | 申请公布日 | 2012-08-29 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;B08B1/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 冯东印;朱泓 | 申请(专利权)人 | 江苏宏宝光电科技有限公司 |
代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 柏尚春 |
地址 | 215618 江苏省苏州市张家港市经济开发区(杨舍镇河北村) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开一种单晶炉拉升腔体用清理工具,包括清洁圆盘和连接柄;所述连接柄与清洁圆盘的中部连接。与现有技术相比,本实用新型所提供的单晶炉拉升腔体用清理工具可更便捷清理拉升腔内部的粉尘,并且清洁的更彻底,在节省生产时间的同时,利于产出更高质量的单晶,制造更纯净的产品。 |
