一种测量硅片几何尺寸的装置
基本信息
| 申请号 | CN201120498717.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202361917U | 公开（公告）日 | 2012-08-01 |
| 申请公布号 | CN202361917U | 申请公布日 | 2012-08-01 |
| 分类号 | G01B5/02(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杨红;朱泓 | 申请（专利权）人 | 江苏宏宝光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 柏尚春 |
| 地址 | 215618 江苏省苏州市张家港市经济开发区（杨舍镇河北村） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种测量硅片几何尺寸的装置，包括钢板和泡沫垫；所述钢板的板面尺寸与泡沫垫的垫面尺寸大小相同；所述泡沫垫的垫面与钢板的板面紧密贴合，泡沫垫固定在钢板上；所述泡沫垫上设有用于放置硅片的凹槽；所述凹槽上面的四个角为倒角；所述凹槽边缘及其倒角处标有测量对应硅片边长范围和倒角长度范围的刻度。本实用新型所提供的测量硅片几何尺寸的装置具有以下优点：一方面该装置采用泡沫制成的泡沫垫，对硅片启到了保护作用；另一方面该装置只需一人操作就可方便快捷的测量出硅片几何尺寸是否在合格范围内，提供了工作效率。 |
