母合金掺杂及补掺装置

基本信息

申请号 CN201120498757.X 申请日 -
公开(公告)号 CN202359229U 公开(公告)日 2012-08-01
申请公布号 CN202359229U 申请公布日 2012-08-01
分类号 C30B15/04(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 冯东印 申请(专利权)人 江苏宏宝光电科技有限公司
代理机构 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 代理人 柏尚春
地址 215618 江苏省苏州市张家港市经济开发区(杨舍镇河北村)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种母合金掺杂及补掺装置,包括掺杂外管、内管、调节组件、密封阀、抽真空组件和母合金槽;所述掺杂外管的一端为外转接口且另一端为封闭端的长管状;所述内管一端探入掺杂外管内,并在端口处设有第一磁石;所述内管另一端露在掺杂外管外,端口处装有母合金槽;所述调节组件套在掺杂外管上;所述调节组件内部设有第二磁石;所述掺杂外管的外转接口与单晶炉的观察孔转接口密封连接;所述密封阀设在单晶炉的观察孔处,当密封阀关闭时,单晶炉的观察孔与密封阀之间为气密封,把单晶炉观察孔封死,防止空气过入;所述抽真空组件与单晶炉的观察孔密封连接。本实用新型达到提高生产效率、减少能耗、降低成本、提高单晶成品率的目的。