母合金掺杂及补掺装置
基本信息
申请号 | CN201120498757.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN202359229U | 公开(公告)日 | 2012-08-01 |
申请公布号 | CN202359229U | 申请公布日 | 2012-08-01 |
分类号 | C30B15/04(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 冯东印 | 申请(专利权)人 | 江苏宏宝光电科技有限公司 |
代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 柏尚春 |
地址 | 215618 江苏省苏州市张家港市经济开发区(杨舍镇河北村) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开一种母合金掺杂及补掺装置,包括掺杂外管、内管、调节组件、密封阀、抽真空组件和母合金槽;所述掺杂外管的一端为外转接口且另一端为封闭端的长管状;所述内管一端探入掺杂外管内,并在端口处设有第一磁石;所述内管另一端露在掺杂外管外,端口处装有母合金槽;所述调节组件套在掺杂外管上;所述调节组件内部设有第二磁石;所述掺杂外管的外转接口与单晶炉的观察孔转接口密封连接;所述密封阀设在单晶炉的观察孔处,当密封阀关闭时,单晶炉的观察孔与密封阀之间为气密封,把单晶炉观察孔封死,防止空气过入;所述抽真空组件与单晶炉的观察孔密封连接。本实用新型达到提高生产效率、减少能耗、降低成本、提高单晶成品率的目的。 |
