硅料浸泡机

基本信息

申请号 CN201120531719.X 申请日 -
公开(公告)号 CN202400851U 公开(公告)日 2012-08-29
申请公布号 CN202400851U 申请公布日 2012-08-29
分类号 C01B33/021(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 余伟;何勤忠;陈宏;朱泓 申请(专利权)人 江苏宏宝光电科技有限公司
代理机构 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 代理人 柏尚春
地址 215618 江苏省苏州市张家港市经济开发区(杨舍镇河北村)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种硅料浸泡机,包括机架、酸液循环及回收系统、浸泡槽和排风装置;所述浸泡槽固定在机架上;所述浸泡槽上端设有槽盖;所述槽盖与浸泡槽水密封连接;所述浸泡槽的侧壁上端安装有排风装置;所述浸泡槽内部设有加热装置;所述酸液循环及回收系统通过管道与浸泡槽底部连接。酸液循环及回收系统可避免酸雾泄漏,确保工作环境符合ISO14001,OHSMS18001的要求;加热装置可满足硅料清洗工艺中反应温度的要求,采用恒温加热方式避免受自然温度的影响;酸液合理循环回收可降低加工成本。