硅料浸泡机
基本信息
申请号 | CN201120531719.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN202400851U | 公开(公告)日 | 2012-08-29 |
申请公布号 | CN202400851U | 申请公布日 | 2012-08-29 |
分类号 | C01B33/021(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 余伟;何勤忠;陈宏;朱泓 | 申请(专利权)人 | 江苏宏宝光电科技有限公司 |
代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 柏尚春 |
地址 | 215618 江苏省苏州市张家港市经济开发区(杨舍镇河北村) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开一种硅料浸泡机,包括机架、酸液循环及回收系统、浸泡槽和排风装置;所述浸泡槽固定在机架上;所述浸泡槽上端设有槽盖;所述槽盖与浸泡槽水密封连接;所述浸泡槽的侧壁上端安装有排风装置;所述浸泡槽内部设有加热装置;所述酸液循环及回收系统通过管道与浸泡槽底部连接。酸液循环及回收系统可避免酸雾泄漏,确保工作环境符合ISO14001,OHSMS18001的要求;加热装置可满足硅料清洗工艺中反应温度的要求,采用恒温加热方式避免受自然温度的影响;酸液合理循环回收可降低加工成本。 |
