体声波谐振器、体声波谐振器组件及制造方法、滤波器及电子设备
基本信息
| 申请号 | CN202010484457.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112134542B | 公开（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申请公布号 | CN112134542B | 申请公布日 | 2022-07-12 |
| 分类号 | H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I;H03H9/17（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 黄源清;庞慰;徐洋;杨清瑞 | 申请（专利权）人 | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京金诚同达律师事务所 | 代理人 | - |
| 地址 | 300462天津市滨海新区开发区西区新业五街27号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，其中：所述压电层包括压电上层和压电下层，所述谐振器还包括设置在压电上层与压电下层之间的金属插入层，所述插入层至少全部覆盖有效区域。本发明也涉及一种上述体声波谐振器的机电耦合系数的调节方法，包括步骤：选择插入层的插入厚度、压电上层的上层厚度与压电上层和压电下层的厚度之和的比值、插入层延伸到有效区域的边界之外的延伸长度中的至少一种，以调节机电耦合系数。本发明还涉及一种体声波谐振器组件及其制造方法、一种滤波器以及一种电子设备。 |
